





兆声波清洗不仅保存了超声波清洗的优点,兆声清洗机,而且克服了它的不足。在清洗时,由换能器发出波长为1μm频率为0.8兆赫的高能声波。溶液分子在这种声波的推动下作加速运动,大瞬时速度可达到30cm/s。因此,形成不了超声波清洗那样的气泡,而只能以高速的流体波连续冲击晶片表面,使硅片表面附着的污染物的细小微粒被强制除去并进入到清洗液中。兆声波清洗抛光片可去掉晶片表面上小于0.2μm的粒子,起到超声波起不到的作用。这种方法能同时起到机械擦片和化学清洗两种方法的作用。兆声波清洗方法已成为抛光片清洗的一种有效方法。

清洗介质:采用超声波清洗,兆声清洗机多少钱,一般有两类清洗剂即化学溶剂和水基清洗剂。清洗介质的化学作用可以加速超声波清洗效果,超声波清洗是物理作用,兆声清洗机,两种作用相结合,依对物件进行充分、的清洗。功率密度:超声波的功率密度越高,空化效果越强,速度越快,清洗效果越好,但对于精密的表面光洁度甚高的物件,采用长时间的高功率密度清洗会对物件表面产生空化、腐蚀。超声频率:适用于工件粗、脏、初洗,频率高则超声波方向性强,适合于精细的物件清洗。清洗高温:一般来说,超声波在30℃~40℃时的空化效果,清洗剂也不是温度越高,作用越---,有可能会高温失效,通常超声波在超过85°c时,清洗效果已变差。所以实际应用超声波清洗时,兆声清洗机价格,采用50°c~70°c的工作温度。

技术早出现于20世纪30年代早期,当时,位于美国新泽西州的美国无线电公司的一个实验室中的---尝---自制的简陋超声波清洗系统清洗某些物体,但试验未获成功。在此基础上,超声波清洗技术在20世纪50年代有了很大的发展,当时使用的超声波工作频率在20~ 40 khz之间。该范围内的超声波被应用在数千种不同的工作场合下,其中许多是别的清洗手段不能---发挥作用的场合。超声波可以对工件施加非常---的能量,尤其适用于清除牢固地附着在基底上的污垢。然而在某些情况下,超声波---的能量也会损伤粘有污垢而性质脆弱的基底材料。在过去的十几年中,超声波领域中出现了一些技术---,提高了清除敏感基底上的污物的安全系数。在此期间,超声波技术,---是中高频超声波清洗技术有了新的发展,并成为行业的亮点。近年来,人们发现用兆声波(根据超声波的频率不同,把40 khz及其以下的称为常规或低频超声波,把1 000 khz以上的称为高频超声波,又称兆频超声波,简称兆声波)清洗可以去除掉半导体材料表面上的超细污垢微粒,并且不会损伤基底材料的表面。目前这项技术已经得到了很快的普及。

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