超声波清洗机由以下几部分组成:1)超声波系统:包括换能器和超声波发生器。(1)换能器:换能器采用特种耐高温、耐振动、高粘度的树脂胶辅以特殊的方法加以固定，脱落，且可耐受100℃～150℃的高温。(2)超声波发生器:大功率超声波发生器可由超音频igbt电力电子器件为主要元件构成，晶圆清洗，该种超声波发生器电路---，结构完整，辅以灵敏---的集成控制系统。各种超声波发生器可独立工作，亦可多组并联使用，以完成---清洗工程。2)加热及温度控制系统。加热器通常采用不锈钢管材制成，可耐酸碱。加热的目的是将清洗剂加热以增加清洗机的洗涤效果。温度自动控制，可在适当范围内随意调整。3)清洗槽:清洗槽一般采用不锈钢经弧焊焊制而成，槽体上设置有排渣检修口、保温隔声层等，要---水位至少应高出换能器盒200 mm以上。
槽式兆声清洗的优点在于其兆声换能器面积较大，可以大面积辐射兆声声场，从而更的进行清洗。但缺点是兆声声场在水槽中分布不均匀，距离换能器越远声强越弱，巴彦淖尔晶圆清洗，同时声能传递效率较低。喷淋式兆声清洗的优点在于可直接将兆声能量---在清洗物表面，从而可通过运动清洗物和喷头实现清洗物表面均匀的声场分布，且声能传递效率较高。但喷淋式需要较大的清洗液流量，对清洗液浪费较大，并且喷淋式兆声换能器面积较小，从而声能辐射面积较小，清洗速度较慢。
贴合式兆声清洗是一种吸取了槽式和喷淋式两种兆声清洗的优点并摒弃了二者缺点的---化的兆声清洗技术。它可以以相对大的面积直接将兆声声能均匀的传递到晶圆表面，具有非常高的传递效率和声场均匀性，同时非常节省清洗液。
单点喷淋式兆声清洗，无二次污染问题频超声波，频率可达3mhz清洗精度高，晶圆清洗公司，可去除0.2微米的污渍颗粒---的声空化效应，不损伤器件表面无金属材质接触液体，无导电物质脱落风险腐性，可耐各种酸碱溶液及。
喷淋式兆声喷头是将兆声换能器嵌入到喷嘴中，以喷嘴的形式对被清洗物如晶圆等进行清洗。它的优势在于可点对点的直接对被清洗物表面进行处理，可让声能焦点直接处于被清洗物表面，然后再通过运动来实现整个二维平面的清洗。这种方式相比于槽式兆声清洗，其兆声转换效率更高，并且避免了槽式兆声清洗中声场强度随水槽液体---变化而变化的问题，使被清洗物如晶圆表面获得的声能更均匀。另外，由于是喷嘴喷淋的方式，也不会发生像槽式清洗中水槽中的残留的脏污对被清洗物造成二次污染的问题。
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