兆声波清洗不仅保存了超声波清洗的优点，而且克服了它的不足。在清洗时，由换能器发出波长为1μm频率为0.8兆赫的高能声波。溶液分子在这种声波的推动下作加速运动，大瞬时速度可达到30cm/s。因此，形成不了超声波清洗那样的气泡，而只能以高速的流体波连续冲击晶片表面，使硅片表面附着的污染物的细小微粒被强制除去并进入到清洗液中。兆声波清洗抛光片可去掉晶片表面上小于0.2μm的粒子，晶圆清洗报价，起到超声波起不到的作用。这种方法能同时起到机械擦片和化学清洗两种方法的作用。兆声波清洗方法已成为抛光片清洗的一种有效方法。
超声波清洗机由以下几部分组成:1)超声波系统:包括换能器和超声波发生器。(1)换能器:换能器采用特种耐高温、耐振动、高粘度的树脂胶辅以特殊的方法加以固定，脱落，且可耐受100℃～150℃的高温。(2)超声波发生器:大功率超声波发生器可由超音频igbt电力电子器件为主要元件构成，该种超声波发生器电路---，结构完整，晶圆清洗，辅以灵敏---的集成控制系统。各种超声波发生器可独立工作，亦可多组并联使用，以完成---清洗工程。2)加热及温度控制系统。加热器通常采用不锈钢管材制成，可耐酸碱。加热的目的是将清洗剂加热以增加清洗机的洗涤效果。温度自动控制，可在适当范围内随意调整。3)清洗槽:清洗槽一般采用不锈钢经弧焊焊制而成，槽体上设置有排渣检修口、保温隔声层等，要---水位至少应高出换能器盒200 mm以上。
槽式兆声清洗的优点在于其兆声换能器面积较大，可以大面积辐射兆声声场，从而更的进行清洗。但缺点是兆声声场在水槽中分布不均匀，晶圆清洗，距离换能器越远声强越弱，同时声能传递效率较低。喷淋式兆声清洗的优点在于可直接将兆声能量---在清洗物表面，从而可通过运动清洗物和喷头实现清洗物表面均匀的声场分布，且声能传递效率较高。但喷淋式需要较大的清洗液流量，对清洗液浪费较大，并且喷淋式兆声换能器面积较小，从而声能辐射面积较小，清洗速度较慢。
贴合式兆声清洗是一种吸取了槽式和喷淋式两种兆声清洗的优点并摒弃了二者缺点的---化的兆声清洗技术。它可以以相对大的面积直接将兆声声能均匀的传递到晶圆表面，具有非常高的传递效率和声场均匀性，同时非常节省清洗液。
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