





兆声清洗是利用兆赫兹级别的频超声波能量去进行基材表面亚微米级颗粒的去除以及化学反应。相比于低频超声波空化效应,兆声波空化效应可清楚更小的颗粒并且大幅降低对基材的损伤。东方金荣提供多种类型的兆声系统以用于cmp化学机械抛光、键合前清洗、掩膜清洗、显影、去胶、金属剥离、湿法刻蚀等多种领域。 siansonic(东方金荣)喷淋式兆声清洗喷头的特点及优势单点喷淋式兆声清洗,相比传统槽式清洗,可解决清洗液二次污染问题。极低的超声空化效应,不会对器件表面造成损伤清洗精度,可去除物体表面0.2微米的污渍颗粒非金属腐材质,适应各种酸碱及石英或蓝宝石匹配层技术,兆声波清洗设备,无杂质脱落到器件上的风险的换能器贴合技术,更高的稳定性和耐久性
第三代半导体技术的兆声发生器,实现数字化高频大功率驱动。

兆声波清洗不仅保存了超声波清洗的优点,而且克服了它的不足。在清洗时,由换能器发出波长为1μm频率为0.8兆赫的高能声波。溶液分子在这种声波的推动下作加速运动,瞬时速度可达到30cm/s。因此,形成不了超声波清洗那样的气泡,而只能以高速的流体波连续冲击晶片表面,使硅片表面附着的污染物的细小微粒被强制除去并进入到清洗液中。兆声波清洗抛光片可去掉晶片表面上小于0.2μm的粒子,起到超声波起不到的作用。这种方法能同时起到机械擦片和化学清洗两种方法的作用。兆声波清洗方法已成为抛光片清洗的一种有效方法。
1、遵守铸造设备通用操作规程。2、工作前还必须遵守:a、检查管路系统有无漏气漏水的情况,如有这种情况,应通知维修人员修理。b、检查清洗液是否足够,如果不够,及时增加清洗液。c、先点动试车,然后空运转2-3分钟,兆声波清洗设备报价,检查传动系统(电动机、联轴节、减速器)和运输带的运动是否平稳,确认一切正常后,兆声波清洗设备多少钱,方可进行生产。d、开启浮油排除装置(不带浮油排除装置除外)开始浮油排除,因此时水泵尚开启,内蒙古兆声波清洗设备,水面平静,排油,待浮油基本排除后停止除油,排油污多克利用午休时间进行。

一般来说,清洗的工艺流程依被清洗物体清洗的难易程度及清洗数量而决定。主要清洗流程如下:1)热浸洗或喷洗:目的是将工件上的污染物软化、分离、溶解,并减轻下道清洗工序的负荷。2)超声波清洗:利用超声波产生的---空化作用及振动将工件表面的污垢剥离脱落,同时还可将油脂性的污物分解、乳化。3)冷漂洗:利用流动的净水将已脱落但尚浮在工件表面上污物冲洗干净。4)超声波漂洗:溶剂为干净的清水,工件浸入后,利用超声波将浮在工件各边、角及孔隙处的污物清洗干净。5)热净水及冷净水漂洗:进一步去除悬附在工件表面上的污物微粒。6)热风烘干:利用一定的温度和风速,使零件表面快速干燥。

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