晶圆清洗-北京东方金荣-晶圆清洗

喷淋式兆声喷头

单点喷淋式兆声清洗，无二次污染问题频超声波，晶圆清洗公司，频率可达3mhz清洗精度高，晶圆清洗多少钱，可去除0.2微米的污渍颗粒---的声空化效应，晶圆清洗，不损伤器件表面无金属材质接触液体，无导电物质脱落风险腐性，可耐各种酸碱溶液及。

喷淋式兆声喷头是将兆声换能器嵌入到喷嘴中，以喷嘴的形式对被清洗物如晶圆等进行清洗。它的优势在于可点对点的直接对被清洗物表面进行处理，可让声能焦点直接处于被清洗物表面，然后再通过运动来实现整个二维平面的清洗。这种方式相比于槽式兆声清洗，其兆声转换效率更高，并且避免了槽式兆声清洗中声场强度随水槽液体---变化而变化的问题，使被清洗物如晶圆表面获得的声能更均匀。另外，由于是喷嘴喷淋的方式，也不会发生像槽式清洗中水槽中的残留的脏污对被清洗物造成二次污染的问题。

贴合式兆声清洗

头贴近被清洗物，清洗效率程度减少清洗液使用量清洗精度高，可去除0.2微米的污渍颗粒---的声空化效应，不损伤器件表面石英或蓝宝石耦合技术，无杂质脱落风险腐性，可耐各种酸碱溶液及。

兆声清洗利用兆赫兹级别的频超声波能量推动基材表面亚微米级颗粒的去除以及化学反应。相比于低频超声波空化效应，兆声波空化效应可清除更小的颗粒并且大幅降低对基材的损伤。

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