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喷淋式兆声喷头

单点喷淋式兆声清洗，兆声波清洗多少钱，无二次污染问题频超声波，频率可达3mhz清洗精度高，可去除0.2微米的污渍颗粒---的声空化效应，不损伤器件表面无金属材质接触液体，兆声波清洗，无导电物质脱落风险腐性，可耐各种酸碱溶液及。

喷淋式兆声喷头是将兆声换能器嵌入到喷嘴中，以喷嘴的形式对被清洗物如晶圆等进行清洗。它的优势在于可点对点的直接对被清洗物表面进行处理，兆声波清洗价格，可让声能焦点直接处于被清洗物表面，然后再通过运动来实现整个二维平面的清洗。这种方式相比于槽式兆声清洗，其兆声转换效率更高，并且避免了槽式兆声清洗中声场强度随水槽液体---变化而变化的问题，使被清洗物如晶圆表面获得的声能更均匀。另外，由于是喷嘴喷淋的方式，也不会发生像槽式清洗中水槽中的残留的脏污对被清洗物造成二次污染的问题。

超声波清洗新发展

随着应用范围的扩大，超声波清洗技术也有了新的发展。传统的超声波清洗设备由于自动化程度不高而难以---零件清洗的均匀性，近年来逐渐出现了自动化程度高、灵活性强的自动化超声波清洗设备。不但实现了超声波清洗的自动化控制和批量作业，还稳定了清洗工艺、提高了清洗。这类超声波清洗设备将超声波清洗和化学清洗、漂洗、脱水、烘干等工艺结合，因而有非常高的清洗效率。在传动、烘干、清洗方面通常使用plc控制，实现了清洗过程的全自动化。

贴合式兆声清洗头的特点

兆声波清洗不仅保存了超声波清洗的优点，而且克服了它的不足。在清洗时，由换能器发出波长为1μm频率为0.8兆赫的高能声波。溶液分子在这种声波的推动下作加速运动，大瞬时速度可达到30cm/s。因此，形成不了超声波清洗那样的气泡，而只能以高速的流体波连续冲击晶片表面，使硅片表面附着的污染物的细小微粒被强制除去并进入到清洗液中。兆声波清洗抛光片可去掉晶片表面上小于0.2μm的粒子，起到超声波起不到的作用。这种方法能同时起到机械擦片和化学清洗两种方法的作用。兆声波清洗方法已成为抛光片清洗的一种有效方法。

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