近年来还出现了超声波清洗的一种特殊应用-超声波除垢。超声波除垢主要是利用超声波强声场处理流体，使流体中成垢物质在超声场的作用下的物理形态和化学性能发生一系列变化，使之分散、粉碎、松散、松脱而不易附着管、器壁形成积垢。作为超声清洗的特殊应用，半导体晶圆清洗公司，超声防垢广泛应用在锅炉、热交换装置和管道防垢、除垢领域。
技术早出现于20世纪30年代早期，当时，位于美国新泽西州的美国无线电公司的一个实验室中的---尝---自制的简陋超声波清洗系统清洗某些物体，但试验未获成功。在此基础上，超声波清洗技术在20世纪50年代有了很大的发展，当时使用的超声波工作频率在20～ 40 khz之间。该范围内的超声波被应用在数千种不同的工作场合下，其中许多是别的清洗手段不能---发挥作用的场合。超声波可以对工件施加非常---的能量，尤其适用于清除牢固地附着在基底上的污垢。然而在某些情况下，超声波---的能量也会损伤粘有污垢而性质脆弱的基底材料。在过去的十几年中，超声波领域中出现了一些技术---，提高了清除敏感基底上的污物的安全系数。在此期间，超声波技术，---是中高频超声波清洗技术有了新的发展，半导体晶圆清洗，并成为行业的亮点。近年来，人们发现用兆声波(根据超声波的频率不同，把40 khz及其以下的称为常规或低频超声波，把1 000 khz以上的称为高频超声波，又称兆频超声波，半导体晶圆清洗，简称兆声波)清洗可以去除掉半导体材料表面上的超细污垢微粒，并且不会损伤基底材料的表面。目前这项技术已经得到了很快的普及。
槽式兆声清洗的优点在于其兆声换能器面积较大，可以大面积辐射兆声声场，从而更的进行清洗。但缺点是兆声声场在水槽中分布不均匀，距离换能器越远声强越弱，同时声能传递效率较低。喷淋式兆声清洗的优点在于可直接将兆声能量---在清洗物表面，从而可通过运动清洗物和喷头实现清洗物表面均匀的声场分布，且声能传递效率较高。但喷淋式需要较大的清洗液流量，对清洗液浪费较大，半导体晶圆清洗价格，并且喷淋式兆声换能器面积较小，从而声能辐射面积较小，清洗速度较慢。
贴合式兆声清洗是一种吸取了槽式和喷淋式两种兆声清洗的优点并摒弃了二者缺点的---化的兆声清洗技术。它可以以相对大的面积直接将兆声声能均匀的传递到晶圆表面，具有非常高的传递效率和声场均匀性，同时非常节省清洗液。
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