超声波喷雾热解是一个非常快速的过程，其中所有描述的过程都在微米的体积和几秒钟内发生。由于这些原因，所提出的模型可能存在偏差，高温热解公司，并且基于此，合成的纳米颗粒通常处于亚稳态。该过程的速度及其反应机制也妨碍了对颗粒形成的实时观察，而反应管中存在的许多化学和物理物质（同时存在各种尺寸的液滴、溶剂和盐的蒸气）使形成机制困难。
超声波喷雾系统是用于纳米材料生产的其他类型的喷雾器中更有效的，高温热解价格，例如气动和静电喷雾器，同时价格也实惠且液滴速度低。气动雾化机器通过膨胀加压液体产生液滴。这些雾化机器具有约 50 μm 左右的大尺寸液滴输出，且液滴尺寸和尺寸分布难以控制。静电雾化机器使用静电场从液体中提取液滴。它们的生产率低，并且只能用于导电液体。超声波雾化机器产生的液滴尺寸分布窄，小于 10 μm，生产率可接受。超声波喷嘴产生更稳定和均匀的液滴，但不能产生像超声波雾化机器一样小的液滴。因此，超声波雾化机器在其液滴输出方---有---的特性，并且通常用于喷雾热解过程。
中试级喷雾热解系统适合一定产量的中试级的喷雾热解粉体制备系统；超声波雾化技术，产生均匀的亚微米级前驱---滴；可制备粒径均匀的纳米级超细粉体，自动超细粉体收集技术，可有效大量收集纳米级颗粒，高温热解，自动控制前驱体溶液输送，24小时不间---液可通各种惰性载气，并准确控制载气流量，---适合金属氧化物粉体制备。
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