





槽式兆声清洗的优点在于其兆声换能器面积较大,可以大面积辐射兆声声场,从而更的进行清洗。但缺点是兆声声场在水槽中分布不均匀,距离换能器越远声强越弱,同时声能传递效率较低。喷淋式兆声清洗的优点在于可直接将兆声能量---在清洗物表面,从而可通过运动清洗物和喷头实现清洗物表面均匀的声场分布,且声能传递效率较高。但喷淋式需要较大的清洗液流量,对清洗液浪费较大,并且喷淋式兆声换能器面积较小,贴合式兆声清洗头,从而声能辐射面积较小,清洗速度较慢。
贴合式兆声清洗是一种吸取了槽式和喷淋式两种兆声清洗的优点并摒弃了二者缺点的---化的兆声清洗技术。它可以以相对大的面积直接将兆声声能均匀的传递到晶圆表面,具有非常高的传递效率和声场均匀性,同时非常节省清洗液。
兆声波清洗不仅保存了超声波清洗的优点,而且克服了它的不足。在清洗时,由换能器发出波长为1μm频率为0.8兆赫的高能声波。溶液分子在这种声波的推动下作加速运动,贴合式兆声清洗头多少钱,大瞬时速度可达到30cm/s。因此,形成不了超声波清洗那样的气泡,而只能以高速的流体波连续冲击晶片表面,使硅片表面附着的污染物的细小微粒被强制除去并进入到清洗液中。兆声波清洗抛光片可去掉晶片表面上小于0.2μm的粒子,起到超声波起不到的作用。这种方法能同时起到机械擦片和化学清洗两种方法的作用。兆声波清洗方法已成为抛光片清洗的一种有效方法。

清洗介质:采用超声波清洗,贴合式兆声清洗头价格,一般有两类清洗剂即化学溶剂和水基清洗剂。清洗介质的化学作用可以加速超声波清洗效果,湖北贴合式兆声清洗头,超声波清洗是物理作用,两种作用相结合,依对物件进行充分、的清洗。功率密度:超声波的功率密度越高,空化效果越强,速度越快,清洗效果越好,但对于精密的表面光洁度甚高的物件,采用长时间的高功率密度清洗会对物件表面产生空化、腐蚀。超声频率:适用于工件粗、脏、初洗,频率高则超声波方向性强,适合于精细的物件清洗。清洗高温:一般来说,超声波在30℃~40℃时的空化效果,清洗剂也不是温度越高,作用越---,有可能会高温失效,通常超声波在超过85°c时,清洗效果已变差。所以实际应用超声波清洗时,采用50°c~70°c的工作温度。

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