东方金荣超声-半导体晶圆清洗报价-北京半导体晶圆清洗

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贴合式兆声清洗

头贴近被清洗物,清洗效率程度减少清洗液使用量清洗精度高,可去除0.2微米的污渍颗粒---的声空化效应,不损伤器件表面石英或蓝宝石耦合技术,无杂质脱落风险腐性,可耐各种酸碱溶液及。

兆声清洗利用兆赫兹级别的频超声波能量推动基材表面亚微米级颗粒的去除以及化学反应。相比于低频超声波空化效应,兆声波空化效应可清除更小的颗粒并且大幅降低对基材的损伤。









贴合式兆声清洗头概述

槽式兆声清洗的优点在于其兆声换能器面积较大,可以大面积辐射兆声声场,从而更的进行清洗。但缺点是兆声声场在水槽中分布不均匀,距离换能器越远声强越弱,同时声能传递效率较低。喷淋式兆声清洗的优点在于可直接将兆声能量---在清洗物表面,半导体晶圆清洗,从而可通过运动清洗物和喷头实现清洗物表面均匀的声场分布,且声能传递效率较高。但喷淋式需要较大的清洗液流量,对清洗液浪费较大,并且喷淋式兆声换能器面积较小,从而声能辐射面积较小,清洗速度较慢。

贴合式兆声清洗是一种吸取了槽式和喷淋式两种兆声清洗的优点并摒弃了二者缺点的---化的兆声清洗技术。它可以以相对大的面积直接将兆声声能均匀的传递到晶圆表面,具有非常高的传递效率和声场均匀性,北京半导体晶圆清洗,同时非常节省清洗液。














超声波清洗的构成

超声波清洗机由以下几部分组成:1)超声波系统:包括换能器和超声波发生器。(1)换能器:换能器采用特种耐高温、耐振动、高粘度的树脂胶辅以特殊的方法加以固定,脱落,半导体晶圆清洗价格,且可耐受100℃~150℃的高温。(2)超声波发生器:大功率超声波发生器可由超音频igbt电力电子器件为主要元件构成,半导体晶圆清洗报价,该种超声波发生器电路,结构完整,辅以灵敏---的集成控制系统。各种超声波发生器可独立工作,亦可多组并联使用,以完成---清洗工程。2)加热及温度控制系统。加热器通常采用不锈钢管材制成,可耐酸碱。加热的目的是将清洗剂加热以增加清洗机的洗涤效果。温度自动控制,可在适当范围内随意调整。3)清洗槽:清洗槽一般采用不锈钢经弧焊焊制而成,槽体上设置有排渣检修口、保温隔声层等,要---水位至少应高出换能器盒200 mm以上。









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