





单点喷淋式兆声清洗,无二次污染问题频超声波,频率可达3mhz清洗精度高,半导体晶圆清洗报价,可去除0.2微米的污渍颗粒---的声空化效应,不损伤器件表面无金属材质接触液体,无导电物质脱落风险腐性,黑龙江半导体晶圆清洗,可耐各种酸碱溶液及。
喷淋式兆声喷头是将兆声换能器嵌入到喷嘴中,以喷嘴的形式对被清洗物如晶圆等进行清洗。它的优势在于可点对点的直接对被清洗物表面进行处理,可让声能焦点直接处于被清洗物表面,然后再通过运动来实现整个二维平面的清洗。这种方式相比于槽式兆声清洗,其兆声转换效率更高,并且避免了槽式兆声清洗中声场强度随水槽液体---变化而变化的问题,使被清洗物如晶圆表面获得的声能更均匀。另外,由于是喷嘴喷淋的方式,也不会发生像槽式清洗中水槽中的残留的脏污对被清洗物造成二次污染的问题。

清洗介质:采用超声波清洗,一般有两类清洗剂即化学溶剂和水基清洗剂。清洗介质的化学作用可以加速超声波清洗效果,超声波清洗是物理作用,两种作用相结合,依对物件进行充分、的清洗。功率密度:超声波的功率密度越高,空化效果越强,速度越快,清洗效果越好,但对于精密的表面光洁度甚高的物件,采用长时间的高功率密度清洗会对物件表面产生空化、腐蚀。超声频率:适用于工件粗、脏、初洗,频率高则超声波方向性强,适合于精细的物件清洗。清洗高温:一般来说,超声波在30℃~40℃时的空化效果,清洗剂也不是温度越高,作用越---,有可能会高温失效,通常超声波在超过85°c时,清洗效果已变差。所以实际应用超声波清洗时,采用50°c~70°c的工作温度。

兆声清洗是利用兆赫兹级别的频超声波能量去进行基材表面亚微米级颗粒的去除以及化学反应。相比于低频超声波空化效应,兆声波空化效应可清楚更小的颗粒并且大幅降低对基材的损伤。东方金荣提供多种类型的兆声系统以用于cmp化学机械抛光、键合前清洗、掩膜清洗、显影、去胶、金属剥离、湿法刻蚀等多种领域。 siansonic(东方金荣)喷淋式兆声清洗喷头的特点及优势单点喷淋式兆声清洗,相比传统槽式清洗,半导体晶圆清洗公司,可解决清洗液二次污染问题。极低的超声空化效应,不会对器件表面造成损伤清洗精度,可去除物体表面0.2微米的污渍颗粒非金属腐材质,适应各种酸碱及石英或蓝宝石匹配层技术,无杂质脱落到器件上的风险的换能器贴合技术,更高的稳定性和耐久性
第三代半导体技术的兆声发生器,实现数字化高频大功率驱动。

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