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超声波喷雾热解设备,溶液的分配速率和喷头移动速度等参数由软件界面准确控制。由步进电机控制的容积泵用于根据需要分配溶液。超声波喷头提供薄膜涂层,其运动由步进电机驱动的 x 和 y 方向线性平台控制,以---涂层均匀。可以通过改变喷嘴处的压缩空气压力来调整喷雾模式和速度。基板加热板的温度通过专门用控制器独立控制。

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