超声波喷雾热解结合了用于将前体溶液分散成液滴的超声波以及在升高的温度下对液滴内的溶解材料进行化学分解，从而形成细粉。在超声波喷雾热解反应器中，溶剂首先从液滴中蒸发，在下一个阶段，干液滴内的剩余溶剂通过热解进行化学分解，并且通过烧结过程获得细颗粒。超声波喷雾热解方法的优点是可以简单地设置各个工艺段并改变它们的配置，连续的纳米材料合成，以及从各种原材料合成纳米粒子的可能性。
超声波喷雾热解是一个非常快速的过程，超细粉体的制备，其中所有描述的过程都在微米的体积和几秒钟内发生。由于这些原因，所提出的模型可能存在偏差，并且基于此，合成的纳米颗粒通常处于亚稳态。该过程的速度及其反应机制也妨碍了对颗粒形成的实时观察，而反应管中存在的许多化学和物理物质（同时存在各种尺寸的液滴、溶剂和盐的蒸气）使形成机制困难。
目前，工业中用得较多的是通过粉碎法，应用较多的粉体是通过粉碎法、化学法产生的微米级和亚微米级粉体，超细粉体的制备报价，纳米粉体的生产及使用量相对较少。
工业上对超细粉体制备方法提出了一系列严格要求，归纳起来有以下几点方法
(1)产品粒度细，超细粉体的制备多少钱，而且产品的粒度分布范围要窄
(2) 产品纯度高，无污染;
(3)能耗低，产量高，超细粉体的制备报价，产出率高，生产成本低
(4)工艺简单连续，自动化程度高
(5)生产安全及---。
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