超声波喷雾系统是用于纳米材料生产的其他类型的喷雾器中更有效的，例如气动和静电喷雾器，同时价格也实惠且液滴速度低。气动雾化机器通过膨胀加压液体产生液滴。这些雾化机器具有约 50 μm 左右的大尺寸液滴输出，超细粉体的制备公司，且液滴尺寸和尺寸分布难以控制。静电雾化机器使用静电场从液体中提取液滴。它们的生产率低，并且只能用于导电液体。超声波雾化机器产生的液滴尺寸分布窄，小于 10 μm，生产率可接受。超声波喷嘴产生更稳定和均匀的液滴，超细粉体的制备报价，但不能产生像超声波雾化机器一样小的液滴。因此，超声波雾化机器在其液滴输出方---有---的特性，并且通常用于喷雾热解过程。
影响涂层厚度精度的主要因素是涂料的喷涂流量，也就是单位时间内基材上的载料量。超声喷头对液体无任何压力作用，故此可完全通过---的计量泵控制雾化喷涂的涂料液体流量，从而实现了---的喷涂流量控制。如---的注射泵，超声波热解喷涂机其流量控制精度可达皮升每秒的级别，而对超声喷头的微流道设计也可整体实现纳升每秒的控制精度。
超声波喷雾热解结合了用于将前体溶液分散成液滴的超声波以及在升高的温度下对液滴内的溶解材料进行化学分解，从而形成细粉。在超声波喷雾热解反应器中，溶剂首先从液滴中蒸发，超细粉体的制备，在下一个阶段，干液滴内的剩余溶剂通过热解进行化学分解，并且通过烧结过程获得细颗粒。超声波喷雾热解方法的优点是可以简单地设置各个工艺段并改变它们的配置，连续的纳米材料合成，以及从各种原材料合成纳米粒子的可能性。
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